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Π²-CYGNI:モジュール型サブミクロンパターニング&フォトリソグラフィーシステム

Π²-Cygni: Modular Sub-Micron Patterning and Photolithographic System

Cygnus Photonicsではラインパターニングシステムによる新しく実用的で手のひらに収まるコンパクトなVUVフォトリソグラフィーシステム「Π²-Cygni」を開発しました。

Cygnus Photonicsは、紫外線(172nm)Π²2-CYGNIを開発/製造しているアメリカのメーカーです。
Π²2-CYGNIの発光源は、超薄型(4mm未満)の平面マイクロキャビティ放電ランプを使用しているため、他の紫外光源に比べ優れた均一性が可能ですので、集光レンズなどの光学系が必要ありません。

Π²-CYGNIを採用することにより、半導体製造環境下(クリーンルーム)でない一般の研究室でも有機物(PEDOT,PMMA,PET)のフォトリソグラフィーが可能になります。
(フォトレジスト不要、マスクのみ必要)

一般的なUVアークランプは、平均出力が高く、一方エキシマUV光源は、高いフォトンフラックス密度がありますが、Π²2-CYGNIは、これら二つの利点を備えており、外部冷却が不要ですので非常にコンパクトな設計になっています。
*稼働時には、ドライ窒素またはArパージが必要です。


製品の特長

・紫外線光源 波長:172nm
・有効径内の強度均一性:3%
・ランプ寿命:3万回露光
・コンパクト/ポータブル


アプリケーション

・高解像度フォトリソグラフィー
・フォトアブレーション
・光分解/光触媒プロセス
・オゾン生成
・キュアリング


Π²-CYGNI カタログ(PDF 896KB)


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