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ディフォーマブルミラー

MEMS Based Deformable Mirrors

 IrisAO社のディフォーマブルミラーは強固な単結晶シリコンミラーセグメントを採用することで大きな温度変化や100W/cm2以上の出力においてもフラットなミラーを保ちます。また、精密リニアオープンループによるピストン-チップ-チルト位置決め(piston-tip-tilt positioning)は高性能な補償光学が可能です。


特長

ミラータイプ:Segmented, piston/tip/tilt
ストローク: 5 or 8μm
フィルファクター: >98%(6μmギャップ)
光学面エラー: <30nm RMS
コーティング: プロテクトアルミ、ゴールド、誘電体多層膜
ミラーポジション: セグメントミラーそれぞれをpiston/tip/tiltする方式
            もしくは全体のミラーをゼルニケモード(21モード)にする方式
37セグメントと163セグメントがあります
校正済みドライブエレクトロニクス、ケーブル、DMインターフェースボード付
ソフトウエアー: C, METLAB 及び Open-Loop Controller 付


Deformable Mirrors data sheet(PDF 815KB)

HV driver data sheet(PDF 253KB)


AOエンジンシステム(補正光学システム)


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