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軟X線フィルター

soft X-ray filters

Luxel 社は1973年以来、EUVや軟X線用のバンドパスフィルターとして使われる超薄フォイルを製作するメーカーです。またローレンスリバモア国立研究所と共同で各社X線用材料を開発しています。スタンダード製品とともにカスタムメイドも引き受けます。スタンダード仕様フォイルは、耐久性にあるメッシュか有機フィルムでサポートされフレームに付けられます。CFやコンフラットフレームも可です。


アプリケーション

宇宙天文学
X線レーザーターゲット
X線スペクトロスコピー
X線リソグラフィー

スタンダードフィルターラインアップ

COMPOSITION THICKNESS MAX. VISIBLE TRANSMITTANCE
Aluminum:1% Silicon 1500Å 5 x 10-8
Indium:1% Titanium 1600Å 5 x 10-7
Al:Si / Carbon Overcoat 1500Å / 270Å 5 x 10-8
Tin: 3% Germainum 1600Å 5 x 10-7
Al:Si / Titanium Overcoat 1500Å / 270Å 5 x 10-8
Carbon 1200Å 5 x 10-2
Lexan (polycarbonate) 1300Å, or to specs transparent
Boron 1200Å 5 x 10-1
Silicon 1200Å 5 x 10-1
Polyimide 1100Å, or to specs transparent
Titanium 2000Å 5 x 10-5
Palladium 1500Å 5 x 10-6
Zirconium 1500Å 5 x 10-6

スタンダードフィルターラインアップ


Aluminum

Aluminum / Carbon

Aluminum / Titanium

Carbon

Lexan

Polyimide

Boron

Silicon

Tin

Indium

Palladium

Zirconium


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