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マイクロレンズアレイ

マイクロレンズアレイ

Micro lens arrays

advanced microoptic systems gmbh

advanced microoptic systems（aμs）は1995年にドイツのザールブリュッケンに設立されました。フューズドシリカ、光学ガラスやプラスチックの微細構造に対して経験豊富な技術スタッフがリフラクティブマイクロレンズのユニークな製造技術をもって開発しています。

aμsのフォトリソグラフィ技術（化学エッチング＝等方性エッチング）は、様々な形状の光学部品を生み出せるだけでなく、レンズ品質、正確なレンズの位置決め精度、レンズの密集度合やさらには多様なパッケージタイプでのご提供などを可能としています。また、この技術は高い有効性と再現性も持っております。

独自の最先端の微細光学部品、リフラクティブマイクロレンズ及びマイクロレンズアレイを用いれば、特定のビーム断面や強度分布を得るためのビーム操作を可能とします。これらのコンポーネントは、コリメーション、フォーカシング、ホモジナイジング、ビームスプリッター、イメージングなどに利用されています。

アプリケーションは広範囲に及び、医療機器、optosensorics、通信、レーザー光学、計測システム、マシンビジョン、光コンピューティング、3Dイメージング、天文学、などの用途向けのダイオードレーザコリメーション、光ファイバ結合、光スイッチング、マルチプレクシング、ビーム束形成、などが挙げられます。

基本仕様

・材質：フューズドシリカ、光学ガラス、
　プラスチック

・波長範囲：193nm ～ 3.5μm

・マイクロレンズ径：10μm ～ 4000μm

・レンズ形状：凹、凸、球面、非球面

・表面の粗さ：‹10 Å

・開口数：0.004 ～ 0.45

・レンズアレイ形状：長方形、六角形、正方形、
　円形、シリンドリカル

・レンズ位置の誤差：+/-0.2μm

・焦点距離誤差：+/-2% (100mm 角の場合)

・レンズアレイ基板サイズ：
　4 inch x 4 inch ～ 6 inch x 6 inch

・密度：>90%

型式コード

*** - a - D(or P)y - R(or AR)z

例：SPL-Q-D146-R2,54

a - 材質

以下、材質

・ Q ：フューズドシリカ

・ GB ： BK7

・ GT ：ガラス S-TiH53 or TiH10

・ GL ：ガラス S-LaH60

・ G ：他のガラス

・ P ：プラスチック

・ P(G) ：ポリマーレンズ on ガラス基板

Dy - レンズ径（単位：μm）
Py - ピッチ（単位：μm）

Rz - 曲率（単位：mm）
ARz - 非球面曲率（単位：mm）

その他

CA - 有効範囲（単位：mm）

DV - 拡がり角

型式起首の「2」 - 両面レンズ

マイクロレンズアレイには以下の種類があります。

1次元配列
	シングルレンズ
	シングルレンズ
	ラインレンズ
	シリンドリカルレンズ
	シリンドリカルレンズ

2次元配列
		直交配列レンズアレイ
		直交配列レンズアレイ
		長方形配列レンズアレイ
		六角形配列レンズアレイ
		六角形配列レンズアレイ
		シリンドリカルレンズアレイ
		シリンドリカルレンズアレイ
		ガウシアンビームシェイパー

1次元配列 - シングルレンズ

シングル凸レンズ：SPL-a-Dy-Rz (Single Positive Lens-SPL)

シングル凹レンズ：SNL-a-Dy-Rz (Single Negative Lens-SNL)

例：

SPL-Q-D700-R3
シングル凸レンズ、フューズドシリカ、レンズ径700μm、曲率3mm

SNL-QD1000-R3
シングル凹レンズ、フューズドシリカ、レンズ径1mm、曲率3mm

ご提供可能な標準品

1次元配列 - ラインレンズ

ライン凸レンズ：LPL-a-Py-Rz (Line of Positive Lens-LPL)

ライン凹レンズ：LNL-a-Py-Rz (Line of Negative Lens-LNL)

例：

LPL-Q-P250(D180)-R1
ライン凸レンズ、フューズドシリカ、レンズピッチ250μm、レンズ径180μm、曲率1mm

ご提供可能な標準品

1次元配列 - シリンドリカルレンズ

シングル凸シリンドリカルレンズ：SPC-a-Dy-Rz (Single Positive Cylindrical lens-SPC)

シングル凹シリンドリカルレンズ：SNC-a-Dy-Rz (Single Negative Cylindrical lens-SNC)

例：

SPC-Q-D1000-R3
シングル凸シリンドリカルレンズ、フューズドシリカ、レンズ径1mm、曲率3mm

SNC-Q-D1000-R3
シングル凹シリンドリカルレンズ、フューズドシリカ、レンズ径1mm、曲率3mm

ご提供可能な標準品

2次元配列 - 直交（に）配列（する）レンズアレイ

直交配列凸レンズアレイ：APO-a-Dy-Rz (Array Positive (convex) Orthogonal-APO)

直交配列凹レンズアレイ：ANO-a-Py-Rz (Array Negative (concave) Orthogonal-ANO)

ピッチは、2つの隣接するレンズの光軸間の最短距離です。

直交するレンズアレイの円形レンズの場合、レンズの直径は括弧内に記されています。

例：

APO-Q-P1000(D600)-R3
直交配列凸レンズアレイ、フューズドシリカ、ピッチ1mm、レンズ径600μm、曲率3mm

APO-Q-P1000-R3
直交配列凸レンズアレイ、フューズドシリカ、ピッチ1mm、曲率3mm

ANO-Q-P1000(D600)-R3
直交配列凹レンズアレイ、フューズドシリカ、ピッチ1mm、レンズ径600μm、曲率3mm

ANO-Q-P1000-R3
直交配列凹レンズアレイ、フューズドシリカ、ピッチ1mm、曲率3mm

ご提供可能な標準品

2次元配列 - 長方形（に）配列（する）レンズアレイ

長方形配列凸レンズアレイ：APR-a-Py1 x Py2-Rz (Array Positive (convex) Rectangular-APR)

長方形配列凹レンズアレイ：ANR-a-Py1 x Py2-Rz (Array Negative (concave) Rectangular-ANR)

ピッチは、2つの隣接するレンズの光軸間の最短距離です。

直交するレンズアレイの円形レンズの場合、レンズの直径は括弧内に記されています。

例：

APR-Q-P250xP400-R3
長方形配列凸レンズアレイ、フューズドシリカ、縦ピッチ250μm、横ピッチ400μm、曲率3mm

ANR-Q-P250xP400(D200)-R3
長方形配列凹レンズアレイ、フューズドシリカ、縦ピッチ250μm、横ピッチ400μm、レンズ径200μm、曲率3mm

ご提供可能な標準品

2次元配列 - 六角形（に）配列（する）レンズアレイ

六角形配列凸レンズアレイ：APH-a-Dy-Rz (Array Positive(convex) Hexagonal-APH)

六角形配列凹レンズアレイ：ANH-a-Py-Rz (Array Negative(concave)Hexagonal-ANH)

ピッチは、2つの隣接するレンズの光軸間の最短距離です。

六角形配列レンズアレイの円形レンズの場合、レンズの直径は括弧内に記されています。

例：

APH-Q-P1000(D600)-R3
六角形配列凸レンズアレイ、フューズドシリカ、ピッチ1mm、レンズ径600μm、曲率3mm

APH-Q-P1000-R3
六角形配列凸レンズアレイ、フューズドシリカ、ピッチ1mm、曲率3mm

ANH-Q-P1000(D600)-R3
六角形配列凹レンズアレイ、フューズドシリカ、ピッチ1mm、レンズ径600μm、曲率3mm

ANH-Q-P1000-R3
六角形配列凹レンズアレイ、フューズドシリカ、ピッチ1mm、曲率3mm

ご提供可能な標準品

2次元配列 - シリンドリカルレンズアレイ

シリンドリカル凸レンズアレイ：APC-a-Dy-Rz (Array Positive(convex) Cylindrical-APC)

シリンドリカル凹レンズアレイ：ANC-a-Py-Rz (Array Negative(concave) Cylindrica-ANC)

例：

APC-Q-P1000(D600)-R3
シリンドリカル凸レンズアレイ、フューズドシリカ、ピッチ1mm、レンズ径600μm、曲率3mm

APC-Q-P1000-R3
シリンドリカル凸レンズアレイ、フューズドシリカ、ピッチ1mm、曲率3mm

ANC-Q-P1000(D600)-R3
シリンドリカル凹レンズアレイ、フューズドシリカ、ピッチ1mm、レンズ径600μm、曲率3mm

ANC-Q-P1000-R3
シリンドリカル凹レンズアレイ、フューズドシリカ、ピッチ1mm、曲率3mm

ご提供可能な標準品

2次元配列 - ガウシアンビームシェイパー

aμsではビーム均一化するための2次元配列のリフラクティブマイクロオプティクスも提供しています。例：ガウシアンビームを最大94％まで均一させたビームに変換。

その効果は、多数の無秩序に配置されたリフラクティブマイクロオプティクス素子によりビームをミックスすることに基づきます。コーティングされていない場合でも90%以上の効率を提供します。
発散角度は0.3°～20°になります。微細な調整を必要とせず、レーザー用ならびに他の光源にも適用することができます。

ガウシアンビームシェイパー：LBH-a-DVz(λ) (Laser Beam shapers for Homogenizing -LBH)

仕様：
波長：190nm ～ 3.0μm
透過率：>90％(no coating)
均一化度：<94％
出射側エネルギー分布：>+/-5%
サイズ：100mm x 100mm まで可能