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超高面精度エタロン

イオンビームスパッタリングを用いて、反射率:99.998%以上の超高反射率ミラーの製作しています。また、Finesse >100,000の高精度エタロンや超低反射率のARコートなども可能で、ハイレベルなご要望にお応えできるメーカーです。イオンビームスパッタリングによるハイコーティング


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コーティング技術について

超高面精度エタロン

Fabry-Perot Etalons

超高面精度エタロン 詳細へ


寸法 〜1.5 m
面精度 λ/100
スクラッチディグ 20-10
サーフィスラフネス 1nm RMS
基板 ガラス、セラミック、シリカ

ファブリーペローエタロン

150mm径 λ/300まで可能リングスペーサーもしくはオプティカルコンタクトスペーサーによる


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